Silic chloride được sử dụng làm chất trung gian trong sản xuất polysilicon, một dạng silic siêu tinh khiết, vì có độ sôi để lọc bằng cách chưng cất từng phần. Được khử thành trichlorsilan (HSiCl3) bằng khí hydro trong một lò phản ứng hydro hóa.

Những polysilicon được sản xuất từ silic chloride được sử dụng như các tấm wafer với khối lượng lớn bởi ngành công nghiệp điện mặt trời, các pin mặt trời thông thường được làm bằng silic tinh thể và cũng bởi ngành công nghiệp bán dẫn.

Silic chloride cũng được thủy phân thành silica dạng khói. Silic chloride có độ tinh khiết cao được sử dụng trong sản xuất sợi quang học.